表面檢查燈，從廣義上來(lái)說(shuō)：檢查表面情況的燈具都是表面檢查燈。有的因?yàn)楸挥糜诓煌馁|(zhì)表面檢查不同的情況，而被命名多種。
表面檢查燈主要用于檢查玻璃、屏幕、晶圓等材質(zhì)表面瑕疵(微塵、刮花)和管道等脫脂清洗后的情況，其他的表面檢查燈，根據(jù)應(yīng)用的材質(zhì)不同而被不同命名。
1、檢查屏幕、晶圓、玻璃、面板，基板等材質(zhì)表面檢查燈，主要為綠光、橙黃光、黃綠光，樣式有手電筒式、手持式、桌面式(坐式和夾式)，懸掛式;
2、金屬表面探傷檢查，也叫紫外線探傷燈(黑光燈)或無(wú)損探傷燈，有LED的也還有傳統(tǒng)高壓氣體的，樣式有手電筒式、頭戴式、桌面式、燈條式、懸掛式;
3、檢查管道、閥門(mén)等脫脂清洗后是否還殘留油脂，主要為紫外線檢查燈，樣式主要為手電筒式和手持式，易于攜帶，方便操作;
4、液壓系統(tǒng)、閥門(mén)等泄露檢查，被稱為熒光撿漏燈，主要是藍(lán)光和紫外線，樣式主要為手電筒式和手持式;配合撿漏劑檢查，撿漏劑主要分為油基和水基撿漏劑;
5、檢查肉眼看不到的體液，如：精液、汗液、等，被稱為刑警法醫(yī)檢查燈，主要樣式為手電筒式和手持式;
6、用于實(shí)驗(yàn)室，檢查動(dòng)植物蛋白。
綠光表面檢查燈利用了介于500nm波長(zhǎng)以上眼睛感覺(jué)Z舒服的波段，來(lái)做透明玻璃或是鏡面不銹綱工作對(duì)象particle及刮傷判別檢查。
3300應(yīng)用場(chǎng)合在晶圓、光盤(pán)片、曝光玻璃、玻璃光罩、底片、LCD ITO等表面之顆粒Particle異物及刮痕檢查。需要指出的是，該儀器只是對(duì)本來(lái)存在顆粒異物等的“放大"作用，為主觀判斷的表面檢查燈。
